Комплекс для исследования условий плазменного осаждения алмазоподобных пленок (КИПр)  
Раздел Приборы для научных исследований
Отрасль промышленности Физика плазмы
Программа Приборы для научных исследований
Область применения Используется для исследования процесса осаждения пленок на подложку и влияния энергетических параметров эрозионного импульса на коэффициент массо-энергетического распыления катода импульсным вакуумным разрядом.
Описание Комплекс включает комплекс для исследования вакуумной эрозионной плазмы (КИВЭП) и аппаратуру компьютерной регистрации параметров импульсного разряда.
В КИВЭП входит:
— система регистрации токов и напряжений поджигающего, подхватывающего и основного разрядов, выполненная на базе запоминающих осциллографов;
— система регистрации формы светового импульса плазменного потока на основе фотоэлектронного умножителя с источником питания и запоминающего осциллографа;
— система регистрации эмиссионных спектров плазмы на базе дифракционного спектрографа;
— система изучения пространственно-временной структуры плазменного образования на основе электронно-оптического преобразователя, цифровой видеокамеры и высокоскоростных камер ВФУ-1 и СКС-1М.
Аппаратура компьютерной регистрации включает:
— IBM AT-совместимый компьютер;
— модули аналогово-цифровых преобразователей ADC 10M/12-2, установленные в ISA слоты компьютера;
— комплект первичных преобразователей;
— комплект устройств согласования первичных преобразователей с аппаратурой компьютерной регистрации;
— программное обеспечение управления аппаратурой компьютерной регистрации параметров импульсного разряда.
Комплекс КИПр конструктивно выполнен в виде отдельных функциональных модулей. Электропитание от четырехпроводной трехфазной сети переменного тока с напряжением 380 В и частотой 50 Гц. Срок службы комплекса не менее 6 лет.Технические характеристики КИПр:
Импульсный плазменный генератор обеспечивает:
Амплитуду тока разряда до 10 000 А;
Длительность разряда от 100 до 2 000 мкс;
Частоту повторения импульсов от 0 до 10 Гц;
Ресурс непрерывной работы, не менее 50 000 импульсов;
Вероятность возбуждения разряда не менее 95%.
Оптико-спектральный блок обеспечивает:
Временное разрешение до 0.1 мкс;
Пространственное разрешение до 0.1 мм;
Рабочую спектральную область от 200 до 1 500 нм;
Спектральное разрешение до 0.01 нм.
Аппаратура компьютерной регистрации обеспечивает:
- число каналов АЦП до 4;
- время преобразования 1 мкс;
- кол-во разрядов 12 бит;
- число выборок 65535 слов;
- интервал регистрации данных 65.535 мс.
- характеристики первичных преобразователей (датчиков тока):
– максимальный ток в импульсе 15 кА;
– погрешность измерения не более 4%;
– постоянная времени датчика 2.5 мкс.
Вакуумная система обеспечивает максимальное остаточное давление в разрядной камере не более 5?10-5 торр. Для размещения КИПр требуется помещение площадью не менее 20 м2, снабженное приточновытяжной вентиляцией. Эксплуатация комплекса должна проводиться при следующих условиях:
- температура окружающей среды 10-35оС;
- относительная влажность не более 80%;
- атмосферное давление 86.6-106.7 кПа;
- трехфазный ток 380 В ? 10%;
- частота питающей сети 50?0.5 Гц;
- давление водопроводной сети более 196 кПа (2 кгс/см2).
Для юстировки оптико-спектральной аппаратуры помещение должно быть затемнено.
Научно-технический уровень Генераторы плазмы уникальны и защищены патентами РБ.
Степень готовности Освоено производство
Ожидаемый результат Расширение возможностей для проведения фундаментальных и прикладных исследований.
Форма реализации Исследовательский комплекс размещен при центре коллективного пользования ИМАФ НАН Беларуси.
Организация разработчик
 
ГНУ «Институт молекулярной и атомной физики НАН Беларуси» (ИМАФ)
Адрес: 220072, г. Минск пр-т Независимости, 70
Тел.: (+375 17) 284-16-35
Факс: (+375 17) 284-00-30
E-mail: imafbel@imaph.bas-net.by
WWW: http://imaph.bas-net.by
Директор: Гапоненко Сергей Васильевич
Организация разработчик
Научный инженерный центр «Плазмотег» ФТИ НАН Беларуси
Адрес: 220141, г. Минск, ул Купревича, 1, корп. 3
Тел.: (+375 17) 263-59-20
Факс: +375 (17) 211-83-71
E-mail: pec@bas-net.by
WWW: http://plasmoteg.org.by/
Директор: Точицкий Эдуард Иванович
 
 
Разработка сайта: Adashkevich@tut.by © Государственный комитет по науке и технологиям
Республики Беларусь, 2005 г.