Технологии изготовления и регенерации титановых катодов-мишеней для парка нового распылительного оборудования предприятий электроники Раздел МАШИНОСТРОЕНИЕ И МЕТАЛЛООБРАБОТКА Отрасль промышленности Программа Технологии Область применения Электроника, машиностроение. Используется для восстановления катодов-мишеней, прежде всего титановых, для распылительного оборудования предприятий электроники. Описание Реализован с применением электронно-лучевого переплава процесс нанесения на изношенные участки катодов-мишеней высокочистого титана с гарантированным отсутствием внесения в наплавленный материал примесей и газов. Проведена оптимизация энергетического и теплового режимов электронно-лучевой наплавки материала на нерасходуемую основу. В качестве наносимого металла служат остатки катодов-мишеней, предварительно фрагментированные до оптимальных размеров. Характеристика: Размеры катодов-мишеней: диаметр (линейные размеры планарных катодов-мишеней) - 60-300 мм; высота – 8 – 150 мм; коэффициент использования металла при восстановлении - до 0,99. Научно-технический уровень Уровень работы соответствует мировому, поскольку расход материальных ресурсов на единицу продукции не выше, чем лучших мировых аналогов. Степень готовности Установка для электронно-лучевого переплава размещена в ФТИ НАН Беларуси. Восстановленные титановые катоды-мишени опробованы в ПО «Горизонт». Ожидаемый результат Стоимость титановых катодов-мишенй достигает нескольких тысяч долларов США; суммарный экономический эффект определяется потребностями предприятий РБ. Форма реализации Дальнейших инвестиций не требуется, срок окупаемости проекта 1,5 года.	Организация разработчик   ГНУ «Физико-технический институт НАН Беларуси» (ФТИ НАНБ) Адрес: 220141, г. Минск, Купревича, 10 Тел.: (+375 17) 263-59-09 Факс: (+375 17) 263-76-93 E-mail: phti@ns.igs.ac.by WWW: http://phti.at.tut.by/ Директор: Гордиенко Анатолий Илларионович
Разработка сайта: Adashkevich@tut.by © Государственный комитет по науке и технологиям Республики Беларусь, 2006 г.