Раздел
|
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
|
Программа
|
ОНТП
|
Область применения
|
Для получения гранулированного поликристаллического кремния солнечного качества с размером гранул до 1 мм из моносилана в непрерывном режиме работы.
|
Описание
|
Принцип работы установки заключается в создании кипящего (псевдоожиженного) слоя мелкодисперсных кремниевых частиц-затравок с последующим осаждением кремния на их поверхности. В кварцевый реактор загружается исходное количество мелкодисперсных кремниевых частиц-затравок. Проводится откачка и продувка азотом реактора и газовых магистралей. В процессе вывода на режим в нижнюю часть реактора подается ожижающий газ-азот. В ходе нагрева кипящего слоя азот постепенно замещается водородом. После достижения кипящим слоем рабочей температуры в реактор подается мо-носилан в смеси с водородом. Происходит термическое разложение моносилана с образованием кремния, который осаждается на поверхности кремниевых частиц-затравок. При этом они увеличиваются в размере с образованием гранул поликристаллического кремния, которые по достижению определенного размера опускаются в нижнюю часть реактора и выводятся.
|
Научно-технический уровень
|
Не имеет аналогов в СНГ.
|
Степень готовности
|
Осваивается производство.
|
Ожидаемый результат
|
Технические и экономические преимущества: • высокая производительность; • сравнительная простота оборудования и возможность организации непрерывного автоматизированного технологического процесса; • низкая себестоимость получаемых изделий.
|
Форма реализации
|
Техническая документация. Обучение персонала, шеф-монтаж.
|