Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп НТ-206 Раздел НАНОТЕХНОЛОГИИ И НАНОМАТЕРИАЛЫ Программа Эталоны и научные приборы Область применения Область применения СЗМ может использоваться в научно-исследовательских и промышленных лабораториях, а также в учебном процессе в вузах. Физика твердого тела, микроэлектроника, оптика, тонкопленочные технологии, нанотехнологии, полупроводниковые технологии, сверхтвердые материалы, стекла и сопряженные технологии, микро- и нанотрибология, чистовая обработка поверхностей, полимеры и композиты на их основе, системы прецизионной механики, магнитной записи, вакуумной техники, визуализация наноструктур, анализ биологических объектов (мембран, клеток и т.д.). Описание Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) НТ-206 представляет собой атомно-силовой микроскоп в комплексе с аппаратными и программными средствами, необходимыми для измерения и анализа микро- и нанорельефа поверхностей, объектов микро- и нанометрового размерного диапазона, их микромеханических и других свойств с нанометровым разрешением. Включает в себя измерительный модуль и блок электроники управления. Измерительный модуль состоит из базовой платформы и устанавливаемой на ней измерительной головки. Обеспечивает измерение движущегося образца (максимальные размеры образца:30 мм, высота 8 мм) под неподвижным зондом. Базовая платформа обеспечивает установку измерительной головки, а также размещение и сканирование образца. Включает трубчатый пьезосканер XYZ-перемещения исследуемого образца. Содержит систему автоматического подвода/отвода. Платформа XY-позиционирования обеспечивает автоматизированное перемещение измерительной головки относительно предметного столика в плоскости XY в пределах 10х10 мм (шаг до 2,5 мкм, визуальный контроль до 10 мкм). Возможно ручное позиционирование. Измерительная головка с лазерно-лучевой схемой детектирования отклонения консоли зонда поддерживает работу во всех режимах (статических и динамических). Ориентирован на применение АСМ-зондов (Si, SiN) на чипах размером 3,6x1,4x0,6 мм, устанавливаемых в сменном держателе. Встроенная видеосистема повышает удобство контроля и настройки зонда при обзоре образца и позиционировании зонда. Размер поля обзора видеосистемы 1x0,75 мм, размер окна визуализации 640x480 точек, частота смены кадров до 30 кадр/с. Изображение поверхности в атомно-силовом микроскопе получают при сканировании образца в горизонтальной плоскости зондом с радиусом кривизны острия порядка 2–20 нанометров, который зафиксирован на чувствительной консоли. Управляющая система отслеживает положение зонда относительно поверхности образца в каждой измеряемой точке и поддерживает расстояние зонд–образец на постоянном заданном уровне. Изменения вертикального положения зонда в каждой точке измерений образуют матрицу АСМ-данных, характеризующих рельеф и карты свойств поверхности, которая записывается в файл и используется в дальнейшем для обработки, визуализации и анализа результатов измерения. Позволяет проводить исследования в следующих режимах: • контактная статическая АСМ • латерально-силовая микроскопия • бесконтактная динамическая АСМ • полуконтактная динамическая АСМ • микроскопия фазового контраста • двухпроходный режим • двухпроходный режим с переменным подъемом • многоцикловое сканирование • магнитно-силовая микроскопия • токовый режим • статическая силовая спектроскопия (с расчетом количественных характеристик, поверхностной энергии и модуля упругости образца в точке анализа) • динамическая амплитудно-частотная силовая спектроскопия • наноиндентирование, наноцарапание, наноизнашивание по линии • силовая нанолитография температурнозависимые измерения. Научно-технический уровень Соответствует аналогам. Степень готовности Осваивается производство. Ожидаемый результат Может конкурировать с наиболее сложными и дорогими существующими аналитическими приборами, обеспечивает необходимую точность и воспроизводимость результатов анализа при значительно меньшей стоимости без предъявления достаточно высоких требований к квалификации пользователей Форма реализации Реализация продукции. В зависимости от специфики исследовательских задач СЗМ НТ-206 может комплектоваться специализированными сменными модулями для проведения микротрибометрических и адгезиометрических измерений или наноиндентирования.	Организация разработчик   ГНУ «Институт тепло- и массообмена им. А.В.Лыкова НАН Беларуси» (ИТМО НАНБ) Адрес: 220072, г. Минск, ул. П. Бровки, 15 Тел.: (+375 17) 284-23-85 Факс: (+375 17) 232-25-13 E-mail: office@hmti.ac.by WWW: http://www.itmo.by Директор: Жданюк Сергей Александрович
Разработка сайта: Adashkevich@tut.by © Государственный комитет по науке и технологиям Республики Беларусь, 2010 г.